Model : MCHS20 ▷ 실리콘 웨이퍼 기반 정전용량형 습도센서 ▷ MEMS기술과 반도체 공정을 이용한 IDT(Interdigited)구조 ▷ 자체 개발한 폴리이미드 감습물질 적용 주요 특징 ▷ 소형 정전용량형 습도센서 ▷ 우수한 선형성 및 히스테리시스 특성, 빠른 응답특성 ▷ SMD 또는 lead-pin 구조 |
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Operating humidity range | 0 %RH to 100 %RH |
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Operating temperature range | -50 ºC to 150 ºC |
Humidity Sensor | Capacitance | 19pF± 1.5pF at 25ºC @ 55%RH |
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Accuracy | < ± 3 %RH | |
Hysteresis | < ± 3 %RH | |
Response Time( t63) | < 5 sec |
Data Sheet Capacitive Humidity Sensor MCHS20 | PDF download |
Technical Note of Capacitive Humidity Sensor | PDF download |